热电阻晶圆测试仪RTDWAFER

菘启工业有限公司是台湾温度传感器制造公司，于2002年在珠三角地区设立的服务据点松扬温控。菘启工业有限公司在1995年2月于台北成立，拥有：”BS EN ISO 9001:2000 品质认证”，”ISC/IEC GODE25 温度实验室认证”，”UL IEC 17025 二级温度实验室认证”等三大认证。以其的设备，的知识，世界的技术，已为国内外广大客户提供温度传感控制方面的解决方案。菘启工业有限公司多次参与中国传感器协会会议，并于会中针对温度传感技术发表专题研讨。不断的创新与对品质一贯的坚持，是我们宗旨。期望能为广大客户提供优良，高质的服务。

菘启工业有限公司——是温度测量控制产品及高温材料供应商，产品应用于航太、半导体、太阳能光伏、LED、石油化工也、汽车工业、食品业等高科技产业及传统产业。公司依托台湾总公司的强大研发、校验能力；东莞的生产基地以及昆山的技术服务与支持，现已形成全方面的产品设计、开发、制造、校验的系统方案提供商。

公司始终坚持为客户创造更多价值；提供稳定可靠的产品；细致的服务，让THERMOWAY品牌获得业界更多的认同及尊重

THERMOWAY RTD WAFER 专为需要温度测量的制程所 设计，例如半导体光阻剂处理系统、晶圆探测器和许多其他类型 的半导体制造设备。 透过研发团队精心整合设计带来高量测精度和结果稳定性， WAFER 上的 RTD 传感器，黏合及封装材料，四线式电阻测量 方式是关键的集成元件。 

Features l 工作温度范围： -80°C to 300°C l 温度点位： 1 to 160 points l 提供校正服务 l 提供应用软体及分析系统 

Applications l 测量和记录制程週期的晶圆温度：装载、升温、稳定状态、冷却和卸载。 l 提升对温度的控制及㇐致性。 l 管理具有严格热性能规格的生产流程或为 SPC 系统提供数据。 l 在硬体或制程研发期间优化晶圆工艺。 l 在终鑑定、晶圆厂启动以及修復或升级系统的重新鑑定过程中对晶圆厂设备进行测试和基准测试。 

Specifications

Temperature Range: -80°C to 300°C 

Wafer Size: 6”, 8”, 12” 

Element Type: Thin Film Platinum 

Element Resistance: 100Ω, 1000 Ω nominal at 0°C

 Resistance Alpha Value: 0.00385

 Max. Measurement Current: 200 µA

 Accuracy with Calibration Correction: ±0.1°C absolute accuracy, ±0.03°C sensor to sensor accuracy Also available in customized high accuracy ±0.05℃ @ 0℃

Resolution: 0.01°C

Type of Connection: 3-Wire or 4-wire resistance measurement with common current source return 

Lead Materials: Polyimide coated copper

Cable Construction: Polyimide film flat cable section transitioning to a silicon rubber round flex cable. 

Connection: D-type, high density, sub-miniature with 68 pins.